真空镀膜行业中有时很多材料不能用电阻加热的形式蒸发，例如常用于可见光和近红外光学器件镀膜的绝缘材料。在这种情况下，必须采用电子束加热方式。
电子束蒸发的原理是基于电子在电场作用下，获得动能打到蒸镀材料上，使蒸镀材料加热汽化，而实现蒸发镀膜。
电子枪是电子束蒸发源。它由灯丝及其连接的阴极、聚束极、和阳极组成。其中灯丝和阴极通常由钨或钼材料制成。
电子枪加热特点：
1、电子枪加热比电阻加热具有更高的能量密度，可以蒸发高熔点材料，如W、Mo、Al2O3等，并可得到较高的蒸发速率；
2、被蒸发材料置于水冷铜坩埚内，可避免坩埚材料污染，可制备高纯薄膜；
3、电子枪蒸发粒子动能大，有利于获得致密、结合力好的膜层。