简单介绍
MOCVD机发热体可用纯钨或钨合金制作。
MOCVD机发热体的使用环境对材料的纯度、抗蠕变性能均有较高要求。
产品描述
金属有机物化学气相淀积(简称MOCVD)是技术生长III-V族,II-VI族化合物及合金的薄层单晶的主要方法。用氢气或氮气作为载气,通入液体中携带出蒸汽,与V族的氢化物(如NH3、PH3、AsH3)混合,通入反应室,在加热的衬底表面发生反应,外延生长化合物晶体薄膜。
LED的发光核心是一种称为外延片(Epitaxial Slice)的复合材料,由于Mocvd技术在外延片上的成功运用,使得此种设备使用量迅速增加。
由于MOCVD设备工作时工作温度高于2000℃,钨钼也是该设备发热体等部分组件的优选材料。
早期MOCVD设备发热体由铼或钨铼合金等材料制成,随着此种设备的普及,出于降低成本要求,纯钨及钨和一些稀土元素的合金材质制成的发热体逐步被用户接受。
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