简单介绍
洛阳爱科麦难熔金属有限公司拥有车、铣、刨、磨、电加工、加工中心等各种设备，可按用户要求加工各种离子注入用钨反射件和钼反射件等离子源组件。
我公司加工制作的离子注入用离子源反射件具有密度高，纯度高，尺寸精度好的特点。
产品描述
反射件是离子注入机离子源的重要组件。不同粒子注入机厂家的反射件有不同的形状和规格。我公司可根据客户图纸加工成型。由于我们生产加工反射件所需的钨钼原材料，所以除反射件尺寸精度外，产品性能可以得到保障。
根据不同厂家设计，反射件可能由钨材质或钼材质制成。
离子注入是现代集成电路制造中的一种非常重要的技术，其利用离子注入机实现半导体的掺杂，即使用钨丝作为阴极发射电子轰击含有特定的杂质元素的气体分子，产生电离的特定杂质原子经静电场加速后打到硅单晶圆片表面，并打入半导体内部，改变导电特性并*终形成晶体管结构。
由于在离子源发生的电子转换为电浆离子时，会产生2000℃以上的工作温度，离子束喷发时，也会产生很大的离子动能，一般金属会很快烧熔，因此需要质量密度较大的惰性金属，以维持离子束喷发方向，并增加组件耐用度，钨钼是必选材料。由于钨钼材料高温化学性质稳定、热变形小和使用寿命长等优点，因此半导体行业离子注入机弧光反应腔零组件及耗件多采用钨、钼材料制造，这些器件包括发射电子阴极的屏蔽筒、发射面板、中心固定杆、起弧室内的丝极板等，我们统称为离子注入用钨零件和离子注入用钼零件。
离子注入用钨钼零件所用材料经过对传统钨钼材料工艺进行优化，包括细晶化、合金化处理，真空烧结和热等静压烧结致密化，二次晶粒细化控轧技术，普遍提高传统钨钼材料的寿命、耐高温及抗蠕变性能。
我公司生产的离子注入用钨钼零件晶粒度细化，相对密度≥99%，高温力学性能指标比普通钨钼材料明显提高，使用寿命也明显延长。
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好评度
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